Для размещения заказа на изготовление фотошаблонов, Вам необходимо предоставить следующую информацию:
   1 Файл с топологией ИС в формате GDS II, OASIS или DXF*. Имя файла может содержать не больше 20 символов. Можно употреблять только латинские буквы, цифры и знак подчеркивания. В файле нулевая точка координат привязана к центру пластины.
   2 Текстовый файл с комментариями, содержащий:
   а) Габаритный размер ФШ-заготовки, тип стекла (sodalime, кварц), коэффициент отражения поверхности, плоскостность поверхности заготовки.
   б) Имя файла с топологией
   в) Названия обрабатываемых структур
   г) Границы области обработки данных
   д) Необходимые операции с данными для каждого обрабатываемого слоя (масштабирование, припуски, инверсия, изменение ориентации, шаг сетки проектирования, зеркальность, булевые операции со слоями, мультипликация данных)
   е) Информация о метках совмещения для степпера (модель степпера). В случае передачи меток степпера заказчиком - файл с топологией меток в формате GDS II, OASIS или DXF*.
   ж) Информация для проведения мероприятий по аттестации - указание расположения, геометрических размеров и направления измерений, тональность контролируемых элементов, требования к рассовмещению шаблонов в комплекте, допуски на размер топологических элементов.
   з) Размер недопустимых дефектов в рабочем поле ФШ.
   и) Данные для создания и размещения баркода.
   к) Указать необходимость и содержание текстовой маркировки.
   л) В случае необходимости изготовления многослойного или многопроектного ФШ необходимо предоставить информацию о расположении слоев/проектов на ФШ.
   м) Тип пелликла (односторонний, двусторонний)
   н) Другие специальные требования

   Если в процессе подготовки вышеуказанной информации у Вас возникли вопросы - свяжитесь с нами и наши специалисты помогут Вам их решить.